上海伯東是德國普發(fā) Pfeiffer 授權(quán)銷售維修中心, 自 2002年以來, 已累計為超過 100, 000+ 家企業(yè)提供維修保養(yǎng)服務(wù), 客戶遍布工業(yè), 科研, 鍍膜和半導(dǎo)體行業(yè), 維修中心使用 100 ％ Pfeiffer 原廠部件和原裝進口檢測設(shè)備對維修產(chǎn)品做全方面的性能測試, 上海伯東擁有完全的拆解, 維修能力, 提供快速, 高質(zhì)量的維修保養(yǎng)服務(wù). 伯東公司在上海, 臺灣, 日本都設(shè)有維修服務(wù)據(jù)點.
上海伯東提供普發(fā)分子泵清潔, 保養(yǎng)和維修服務(wù)
以 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列舉例, 分子泵采用復(fù)合軸承設(shè)計, 頂端是磁性軸承, 下端是機械軸承支撐 (最常用的材料是陶瓷). 這種陶瓷軸承是有壽命的, 因此要定期檢測維護. 建議小抽速分子泵 HiPace 700 以下平均使用 17200 小時保養(yǎng)一次, HiPace 1200 以上大抽速分子泵四年保養(yǎng)一次. 如工藝較差, 這個時間還應(yīng)縮短. 定期檢測分子泵能夠及時的發(fā)現(xiàn)問題, 最大限度地延長分子泵的使用壽命, 避免因突然的故障停機導(dǎo)致的損失!

普發(fā)分子泵常見問題
1. 真空度正常, 分子泵可以達到全速, 但是噪音大
故障原因: 前級泵問題, 系統(tǒng)漏氣, 軸承問題, 轉(zhuǎn)速限定
建議: 分子泵運行超過3年, 可能內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損, 建議送修檢測, 如果放任不管, 后續(xù)會磨損轉(zhuǎn)子, 對泵體內(nèi)部造成更嚴(yán)重的損傷

                              陶瓷軸承損傷                                              轉(zhuǎn)子 Carbon 磨損

2. 油棉污染: 油棉變黑, 發(fā)黃
建議: 3-4年更換分子泵油棉. Pfeiffer 復(fù)合軸承分子泵內(nèi)部陶瓷軸承采用油潤滑方式, 可以給軸承降溫, 減少軸承滾珠磨損并起到清洗分子泵軸承, 避免污染物附著在軸承上面, 有效延長分子泵的使用壽命

3. 分子泵無法啟動: 用手撥動葉片, 葉片無法轉(zhuǎn)動
建議: 轉(zhuǎn)子已完全卡死, 建議立刻送修上海伯東

4. 分子泵異響:
故障原因: 異物進入, 陶瓷軸承磨損或損壞, 轉(zhuǎn)子動平衡問題, 前級泵返油; 工藝環(huán)境粉塵較多或有異物進入分子泵時, 會對高速旋轉(zhuǎn)的葉片和轉(zhuǎn)子造成巨大損害建議: 立即停機送修檢測

                                 泵體內(nèi)部Coating                                                              轉(zhuǎn)子污染

5. 分子泵無法達到全速, 真空度抽不下去
建議: 請檢查前級真空是否正常, 如果是分子泵組, 請先打開氣鎮(zhèn)閥抽一段時間后在觀察下, 無法解決問題建議立即送修檢測

6. 分子泵返油: 多數(shù)是由于前級泵返油導(dǎo)致, 建議立即送修檢測

7. 無法啟動: 沒有供電, 控制器沒有響應(yīng), 沒有收到啟動信號, 轉(zhuǎn)子卡死或軸承損壞

8. 常見分子泵控制器報警
    Err 006: 啟動時間設(shè)定太短, 系統(tǒng)漏氣或放氣閥打開, 前級泵極限真空度問題
    Err 021 / Err 108: 控制器問題
    Err117: 控制器問題, 冷卻問題, 系統(tǒng)漏氣

造成分子泵故障的原因還有很多, 發(fā)現(xiàn)問題并及時聯(lián)絡(luò)上海伯東進行檢測, 可以快速解決分子泵問題

上海伯東 Pfeiffer 分子泵維修保養(yǎng)型號包含:
HiPace 系列: HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200, HiPace 2300 等.
Hicube 系列: Hicube 80, Hicube 300, Hicube 700 等
TMH TPH 系列: TMH 071, TMH 260, TMH 261, TMH 262, TMH 520, TMH 521, TMH 1001, TPH 1201, TPH 1501, TPH 2101, TPH 2301.
特殊型號: TMH 071-015-002, TMH 071-010-005, TMH 261-250, splitflow 50, splitflow 80, splitflow 300 / 310
分子泵配件: 電源: TPS 100, TPS 200, TPS 300, TPS 600, TPS 110, TPS 301, TPS 401, DCU 100, DCU 200 DCU 300, DUC 600, DCU 110, DCU 310, DCU 400, DCU 001, DCU 002
控制器: TC 100, TC 600, TC 750, TCP 380, TCP 600, TCP 5000, TC 110, TC400, TC 1200, TC 110 PB, TC 400 PB, TC 1200 PB
冷卻單元, 通訊線, 連接閥等