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公司基本資料信息
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指標
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質量流量控制器
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體積流量控制器
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描述
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標準量程
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0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM；
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，2000(S)LPM
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滿量程
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精度
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±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
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滿量程
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重復性
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±0.5%
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滿量程
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量程比
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100:1
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測量和控制
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響應時間
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100
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毫秒（可調）
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標準狀態(tài)(STP)
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25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
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無
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僅測量質量流量用
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溫度范圍
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-10～50
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℃
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零點漂移
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0.02％
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滿量程/℃/Atm
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量程漂移
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0.02％
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滿量程/℃/Atm
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濕度范圍
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0-100%
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無冷凝
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測量流量范圍
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102.4％
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滿量程
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最大耐壓
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150
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150*
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PSIG
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輸入/輸出（數(shù)字）
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質量流量、體積流量、絕壓和溫度
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體積流量
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RS-232串口
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輸入/輸出（模擬）
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質量流量
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體積流量
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0-5VDC
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可選輸入/輸出
第二路模擬
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質量流量、體積流量、絕壓或溫度
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體積流量
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0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
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電氣連接
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8針
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小型圓插頭
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供電電壓
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12-18VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）**
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供電電流
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0.250A
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安裝位置敏感度
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0%
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預熱時間
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＜1
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秒
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接液材質
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303&302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅，410不銹鋼
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*對于體積流量控制器，若入口壓力＞10PSIG時，須同廠家聯(lián)系。
**使用24V時需指定24V線圈.
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