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公司基本資料信息
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指標(biāo)
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質(zhì)量流量計(jì)
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體積流量計(jì)
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描述
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標(biāo)準(zhǔn)量程
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0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500，2000SLPM
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滿量程
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精度
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±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
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重復(fù)性
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±0.2%
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滿量程
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量程比
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100:1
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測量
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響應(yīng)時(shí)間
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10
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毫秒（可調(diào)）
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標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)
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25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
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無
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僅測量質(zhì)量流量用
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溫度范圍
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-10～50
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℃
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零點(diǎn)漂移
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0.02％
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滿量程/℃/Atm
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量程漂移
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0.02％
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滿量程/℃/Atm
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濕度范圍
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0-100%
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無冷凝
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測量流量范圍
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128％（過流率）
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滿量程
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最大耐壓
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145
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145*
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PSIG
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輸出信號（數(shù)字）
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質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力和溫度
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體積流量
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RS-232串口
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輸出信號（模擬）
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質(zhì)量流量
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體積流量
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0-5VDC
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可選輸出信號
第二路模擬輸出
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質(zhì)量流量、體積流量、絕對壓力或溫度
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體積流量
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0-5VDC,0-10VDC或4-20mA
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電氣連接
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8針
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小型圓插頭
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供電電壓
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7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
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供電電流
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0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）
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安裝位置敏感度
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0%
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安裝后須清零
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預(yù)熱時(shí)間
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＜1
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秒
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接液材質(zhì)
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303&302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，鋁
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* 對于體積流量計(jì)，若入口壓力＞10PSIG時(shí)，須同廠家聯(lián)系。
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