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公司基本資料信息
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形號 |
Sol161 |
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量測行程 |
160x160x160mm |
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外形尺寸 |
545x705x775mm |
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重量 |
55kg |
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承載重量 |
9kg |
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平臺材質(zhì) |
鋁合金 |
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基座材質(zhì) |
鋁合金 |
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傳動方式 X&Y |
Steel Cross Roller Bearings |
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XY 精度 |
U=(2.8+L/150)μm |
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Z 精度 |
U=(2.8+L/100)μm |
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XY 重現(xiàn)性 |
U=2.8μm |
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Z 重現(xiàn)性 |
U=2.8μm |
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光學尺分辨率 |
1.0μm |
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影像 |
高分辨率彩色系統(tǒng) |
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光源 |
輪廓光,表面光,同軸光 |
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光學系統(tǒng)/放大倍率 |
6.5:1 光學 Zoom, 0.7-4.5x |
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量測系統(tǒng) |
InSpec for Windows Metrology Software |
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工作環(huán)境 |
20℃±2°,30-80% 濕度 |
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電源系統(tǒng) |
93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |
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