探針式輪廓儀(臺階儀/膜厚儀) Dektak XT
布魯克 Dektak XT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設(shè)計，可以提供無與倫比的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5Å。臺階儀這項性能的提高達到了過去40年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)領(lǐng)先地位。通過整合其行業(yè)領(lǐng)先產(chǎn)品，Dektak XT實現(xiàn)了最高性能。操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術(shù)突破到第十代Dektak XT臺階儀，能夠在微電子，半導(dǎo)體，超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。

Dektak XT 技術(shù)參數(shù)：
1. 臺階高度重復(fù)性5Å
2. 單拱（Single-arch）設(shè)計大大提高了掃描穩(wěn)定性
3. 前置敏化器件，降低了噪音對測量的干擾
4. 新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%
5. 64-bit，Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍。
6. 功能卓越，操作簡易
7. 直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行
8. 針尖自動校準(zhǔn)系統(tǒng)讓用戶更換針尖不再是難事
9. 臺階儀（表面輪廓儀）領(lǐng)域無可撼動的世界領(lǐng)先地位
10. 單傳感器設(shè)計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍