詳細(xì)說(shuō)明
氣體管道工程可以分為很多種氣體:
(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí)，PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃?？扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
(2)毒性氣體(Toxic Gas)：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大，它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas)：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。
(4)惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過(guò)程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性氣體(Oxide Gas)：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實(shí)驗(yàn)室特種氣體管道工程安裝有哪些標(biāo)準(zhǔn)：
1、所有氣體管道都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管SS-316L組成，銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方（比如通風(fēng)柜）
2、所有的管路、閥門、壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼構(gòu)成，并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件。
3、根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的用氣量，計(jì)算供氣壓力、流量和管道的內(nèi)徑，所有氣體主管道原則上不低于9.52mm（3/8in，儀器空氣主管道直徑為12.7mm）。管路末端，原則上不低于6.35mm（1/4in，也可根據(jù)實(shí)際使用量而定）。
4、所有管路在天花板下面布設(shè)，并通過(guò)功能柱到中央臺(tái)。邊臺(tái)的氣體管路隱藏在實(shí)驗(yàn)工作臺(tái)后面服務(wù)通道內(nèi)。
5、易燃?xì)怏w（如乙炔、氫氣等）需要和其他氣體分開，單獨(dú)引入。
6、所有氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)，才可以使用壓力配件。
7、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的閥門、減壓閥門、壓力表。此外，對(duì)于供應(yīng)多臺(tái)分析儀器的氣體管路，另外還需要?dú)怏w壓力控制指示裝置。
8、引到工作臺(tái)的氣體管路將安裝單獨(dú)的球閥或針閥來(lái)控制。
9、氣相色譜工作臺(tái)上均勻的排放各種氣體的出口龍頭，管徑為3.18mm（1/8in）。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
10、工作臺(tái)上氣體出口由單獨(dú)的閥門來(lái)控制。
11、所有氣體出口為不銹鋼閥門。
12、氣體管路每隔1.5m的距離，都要有明確表標(biāo)示，同時(shí)指示氣體的流向。
13、氣體管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。
14、每隔1.5m左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。
15、所有彎曲處都要有支撐。
16、所有“U”性彎曲處根據(jù)安裝情況，需要有支撐
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