FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍最大到5SLPM；適用于粒子計數器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍最大到50SLPM；

產品特點:

   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用

    - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

    - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高

    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

    - 零點穩(wěn)定度高

    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性

    - 低功耗、低壓損

    - 響應速度快

機械尺寸:

產品特點:

性能參數 FS4003 FS4008 單位
通 徑 3 8 mm
最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1 
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重復性 0.75 %
零點輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 0.12 %/oC
響應時間 100 ms
工作電源 8~18Vdc,100mA  
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc  
最大流量壓損 100 600 pa
最大工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ +55 oC
存儲溫度 -20 ~ +65 oC
工作濕度 <95%RH（無結冰、無凝露）  
機械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 
校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa 
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)