KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng)，由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。

  混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。



設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、高端裝飾等領(lǐng)域。

多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕

重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求。

爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工

具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。

雙層內(nèi)膽爐殼，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，快速升降溫

整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。

法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)

有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計(jì)、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈?zhǔn)健?/div>

內(nèi)嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)內(nèi)嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。

微電腦PID控制器，操作簡便

操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復(fù)雜的試驗(yàn)過程，真正實(shí)現(xiàn)自動控制和運(yùn)行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。

真空系統(tǒng)采用高真空分子泵組，性能卓越

性能可靠：整體型復(fù)合轉(zhuǎn)子，強(qiáng)度高、性能穩(wěn)定；
潔凈無油：采用脂潤滑精密陶瓷軸承，無油蒸汽污染。

管式爐系統(tǒng)
爐管尺寸	直徑60mm
加熱區(qū)長度	440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)
正常工作溫度	1100℃
最高工作溫度	1200℃
加熱元件	摻鉬合金加熱絲
爐膛材質(zhì)	采用日本進(jìn)口爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)
控溫方式	智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示）
真空系統(tǒng)
高真空分子泵組，高真空復(fù)合真空計(jì) 前級泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接
質(zhì)子流量計(jì)
高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-500ＳＣＣｍ 誤差為0.02% 出氣真空壓力表，內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng)， 不銹鋼針閥計(jì)管道，標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
射頻電源系統(tǒng)
輸出功率	50-500W最大可調(diào)±1%
RF頻率	13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
噪聲	≤55DB
冷卻	風(fēng)冷
輸入功率	1KW  AC 220V
提供相關(guān)配件	氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞
電氣認(rèn)證	CE認(rèn)證
售后服務(wù)	12個(gè)月質(zhì)保、終身保修

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