詳細(xì)說明
RCL-56系列熱式氣體流量計(jì)(小口徑)
一、產(chǎn)品簡介
RCL-56系列小口徑熱式氣體流量計(jì),主要用于對微小氣體的流量精密測量。以小口徑區(qū)別于傳統(tǒng)的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),RCL-56系列具有量程比寬,響應(yīng)時(shí)間短,壓力 損耗小,使用方便,價(jià)格便宜等特點(diǎn)。RCL-56系列熱式氣體流量計(jì)在真空鍍膜 、材料科學(xué) 、微電子工業(yè)、石油 化工、醫(yī)藥、環(huán)保和科學(xué)研究等領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用。
二、原理
熱式氣體流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD),一個(gè)是速度傳感器,一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí),其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度,另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體流速增加,介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定,則必須增加通過傳感器的工作電流,此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。
三、技術(shù)指標(biāo)
型 號
普通型
大流量
高壓型
1
量 程
0-10,20,30,50 ,100,200,300,500mL/min
0-20,0-30,0-50 0-100L/min
0-10mL-10L/min
0-1,2,3,5,10L/min
0-150,0-200,0-250L/min
2
準(zhǔn)確度(%F.S)
±1.5-±2%
±1.5-±2%
±1.5-±2%
3
重復(fù)精度
±0.5%
±0.5%
±0.5%
4
響應(yīng)時(shí)間
1S
1S
1S
5
工作壓降
≌0
≌0
≌0
6
耐 壓
3MPa
3MPa
10MPa
7
工作環(huán)境溫度
0~62℃ ,-10~90℃
8
輸出信號
4-20mA恒流或1-5VDC
9
供 電
18-36V DC
10
通 徑
Φ3,6,8,10,15,20…...
11
流速范圍
0.05―50米/秒
12
測量介質(zhì)
不含水、純凈氣體或空氣
四、附表:各通徑產(chǎn)品流量對應(yīng)表
通徑 流速0.05―50米/秒 對應(yīng)流量 (立方米/小時(shí))
Φ3 0.0012----1.2717
Φ6 0.0050----5.0868
Φ8 0.0090----9.0432
Φ10 0.01413----14.13
Φ15 0.03179----31.79
Φ20 0.05652----56.52
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