點(diǎn)擊圖片查看原圖掃描熱顯微術(shù)(SThM)是在原子力顯微鏡(AFM)基礎(chǔ)上，利用對(duì)于材料的溫度、熱導(dǎo)率等的變化進(jìn)行成像，從而獲得樣品表面熱分布和相關(guān)熱物理性質(zhì)等信息的一種微納米尺度的測(cè)試技術(shù)。現(xiàn)已在微電子器件、材料等領(lǐng)域得到了日益廣泛的應(yīng)用。
掃描熱學(xué)顯微鏡
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掃描熱學(xué)顯微鏡
詳細(xì)信息 掃描熱顯微術(shù)(SThM)是在原子力顯微鏡(AFM)基礎(chǔ)上，利用對(duì)于材料的溫度、熱導(dǎo)率等的變化進(jìn)行成像，從而獲得樣品表面熱分布和相關(guān)熱物理性質(zhì)等信息的一種微納米尺度的測(cè)試技術(shù)。現(xiàn)已在微電子器件、材料等領(lǐng)域得到了日益廣泛的應(yīng)用。
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