中科院上海硅酸鹽研究所研制的掃描電聲顯微鏡獲得05年國家技術(shù)發(fā)明二等獎和06年國際工業(yè)博覽會銀獎。已出口到德國、美國等多個國家，并裝備國內(nèi)有關(guān)大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)。

    基于多年的技術(shù)積累，上海硅酸鹽研究所又成功開拓了掃描探針聲學(xué)顯微鏡（Scanning Probe Acoustic Microscope，SPAM），并和上海卓倫微納米設(shè)備有限公司合作，應(yīng)用卓倫先進(jìn)的SPM通用平臺技術(shù)，將SPAM成功加載到ZL-SPM系列產(chǎn)品上，完成了SPAM商品化拓展。

    SPAM具有獨(dú)特的成像機(jī)理和非破壞性內(nèi)部成像能力，在光電子材料、半導(dǎo)體材料、薄膜材料、集成電路和生物樣品上獲得了成功的應(yīng)用，在國內(nèi)外重要期刊上發(fā)表相關(guān)論文40余篇，專著一本，獲得國家發(fā)明專利二項(xiàng)，并多次在國際會議上作大會特邀報告和邀請報告，掃描探針聲成像技術(shù)及其應(yīng)用成果在國際上獲得高度評價。

    SPAM克服了現(xiàn)有SPM只能獲得材料表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的不足，實(shí)現(xiàn)了材料表面及亞表面結(jié)構(gòu)和物性的原位實(shí)時檢測，為在納米尺度上開展材料亞表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)及其相互關(guān)系的研究提供新的技術(shù)平臺。

    SPAM是掃描探針顯微鏡家族的新成員，具有重要的應(yīng)用前景。它對于納米生物學(xué)、納米電子學(xué)、納米化學(xué)及納米加工技術(shù)的發(fā)展必將起到有力的推動作用。
 
　
ZL Ac-II 基本原理：

SPAM的成像機(jī)理是基于樣品微觀點(diǎn)電學(xué)或者聲學(xué)性能的變化。

在SPM探針和樣品表面之間引入一交變作用力，形成納米尺度聲源并在樣品內(nèi)部傳播，攜帶著試樣亞表面結(jié)構(gòu)和物性信息的聲信號經(jīng)與試樣耦合的高靈敏度探測器轉(zhuǎn)換成電信號，利用弱信號探測技術(shù)和SPM的信號通道，并經(jīng)計算機(jī)進(jìn)行信號和圖像處理，從而獲得反映材料亞表面納米尺度結(jié)構(gòu)和性能的聲學(xué)像。

SPAM是在電聲成像技術(shù)的基礎(chǔ)上，將低頻聲學(xué)技術(shù)和原子力顯微鏡技術(shù)相結(jié)合的一種新型顯微成像技術(shù)。它突破了聲學(xué)成像分辨率取決于聲波波長的傳統(tǒng)概念，具有低頻、高分辨率、亞表面成像本領(lǐng)和圖像清晰等特點(diǎn)。它可以適用于極性材料和非極性材料，并可原位同時觀察與樣品微觀結(jié)構(gòu)、局域彈性和內(nèi)部缺陷有關(guān)的形貌像和聲學(xué)像。
 
　
ZL Ac-II 成像特點(diǎn)：

1、獨(dú)特性：能夠獲得反映材料亞表面納米尺度結(jié)構(gòu)的聲學(xué)像和性能的原位檢測
2、穿透性：非破壞性觀察物質(zhì)內(nèi)部信息
3、多功能性：性能研究、結(jié)構(gòu)分析、缺陷檢測融為一體
 
　
ZL Ac-II 技術(shù)指標(biāo)：必須配套ZL 3000型使用

1、成像模式：聲學(xué)像和形貌像
2、成像方式：AFM接觸模式
3、分辨率：≤10nm
4、工作頻率：300Hz~30kHz
5、工作電壓：1~3V