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氦離子顯微鏡 ORION
卡爾 •蔡司ORION氦離子顯微鏡堪稱顯微成像領(lǐng)域中的重大突破，它所獲得的圖像具有前所未見的超高分辨率和材料襯度，并具有優(yōu)于五倍的景深。
ORION顯微鏡的基礎(chǔ)是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個原子發(fā)出的，極其明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴展的限制，正是衍射和能量的擴展影響了電子束在掃描電鏡中的應(yīng)用。
這就意味這ORION顯微鏡擁有一個非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一個大大縮小了相互作用區(qū)里，獨特的氦離子束和樣品的動力學(xué)結(jié)果貢獻了更高的分辨率和內(nèi)涵豐富的襯度機制。
ORION顯微鏡也可以使用背散射氦離子成像，具有很強元素襯度的這種技術(shù)，提供了在樣品表面區(qū)分不同材料的能力。
ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學(xué)、表面和次表面信息，這種技術(shù)的另一個好處是在絕緣樣品上的卓越性能。
技術(shù)參數(shù)：
分辨率： 0.75nm 45kv工作距離4mm
1.0nm 30kv工作距離4mm
2.5nm 10kv工作距離4mm
放大倍數(shù)： 100x-1，000，000x
視野： 1mm-100nm
離子束： 1PA時〈1nm
離子束電流1 fA-25pA
離子源： 氦氣體場離子源
壽命〉1000小時
離子源電動對中
樣品室： 體積400mm3
基體真空度2*10-7Torr
接口板可定制
載物鎖
圖像探測器： Evehart-Thornley二次電子探測器
微通道板（選配）
透射電子探測器（選配）
樣品臺： 5軸電動樣品臺，X 、Y軸行程50mm，
Z軸行程12mm，360℃旋轉(zhuǎn)，
0℃到45℃傾斜
真空系統(tǒng)： 無油無微粒低真空泵設(shè)計
磁懸浮渦輪分子泵
攝像機： 三臺監(jiān)控攝像機一離子源觀察
樣品臺觀察、樣品室觀察
用戶界面： 兩臺20英寸平板顯示器
圖像2048*2048像素
系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能
主要特點：
一流的材料襯度
超高分辨率
廣泛的分析信息
簡單的樣品制備
離子源工作穩(wěn)定、長壽命www,zhiqiaokeyi,com