蝕刻清洗臺
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蝕刻清洗臺
詳細(xì)信息 蝕刻清洗臺 適用產(chǎn)業(yè)：半導(dǎo)體照明（LED）--PSS工藝段、外延工藝段、芯片工藝段； 控制模式：手動控制模式、自動控制模式； 制程應(yīng)用：顯影制程； 蝕刻（微蝕刻）制程；去光阻清洗制程；去蠟（膠）清洗制程；精密清洗制程；光罩去光阻清洗制程 |
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