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一、用途：
TGP-40C大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的檢測(cè)儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
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類(lèi) 別
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放大倍數(shù)
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視場(chǎng)(mm)
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大視野目鏡
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10X
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φ18
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2.物鏡
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類(lèi) 型
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放大倍數(shù)
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數(shù)值孔徑NA
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工作距離（mm）
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物鏡
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4X
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0.10
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18.3
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10X
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0.25
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8.9
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PC20X
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0.40
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8.7
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PC40X
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0.65
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3.7
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3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X -- 500X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：(配有快速移動(dòng)裝置)
尺寸：400*300mm 移動(dòng)范圍：254*254mm[標(biāo)配]
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：特有的防霉系統(tǒng)
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：(配有快速移動(dòng)裝置)
尺寸：400*300mm 移動(dòng)范圍：254*254mm[標(biāo)配]
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：特有的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):日本專(zhuān)業(yè)進(jìn)口攝像頭或500萬(wàn)高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭
三、系統(tǒng)組成
大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡(TGP-40C): 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、進(jìn)口專(zhuān)業(yè)攝像頭 4、計(jì)算機(jī)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測(cè)顯微鏡(TGP-40C)：50--40000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購(gòu)件
1.硅片專(zhuān)用測(cè)量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)