規(guī)格： －高精度：設定點的0.8%(10%～100%滿量程) －超快響應：<100ms －量程范圍：0-0.05/0.5/2/5/20 ln/min －數字化標定&溫度補償 －標準接口(0-5V) －標準供電電壓：24V －標準的機械接口：G1/4” －提供NIST-traceable標定證書 應用領域： －分析儀器 －干刻（RIE/DRIE） －生物技術 －氣相色譜分析 －激光焊機 －過程自動化 －真空鍍膜 －燃料電池 安裝尺寸 105*28.5*91.20（mm）