產品介紹:
SM-1000E工業(yè)顯微鏡采用全新的一體化設計,具有優(yōu)異的光學成像質量,造型新穎,使用方便,并具有豐富的擴展功能,可以廣泛應用于冶金、半導體、電子等行業(yè)的制造和研究領域。
人機工程頭部
SM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉動,調整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適。
管鏡
SM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡,三組管鏡之間可以根據(jù)需要進行切換,切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化,1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化,當使用這3個波長的激光器時,可以得到更好的激光透過率。
光路切換拉桿
通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時,雙目頭和攝像接口的分光比為0:100,此時從攝像接口上入射的激光100%的進入光路,提高了激光效率;當轉換器拉桿往里推時,雙目頭和攝像接口的分光比為50:50,此時即可用雙目頭觀察,同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察
主體上留有偏光插孔,插上偏光附件(選配件),可進行偏光觀察。
調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動舒適,工作可靠。調焦機構最大可承載45磅(20.4Kg),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作。
轉換器
PSM-1000采用4孔可調中轉換器,使用隨機配送的調中鑰匙,可以很方便地調整物鏡的齊中。
物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡,提供了優(yōu)異的成像質量。關于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本。
數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機的CCD尺寸,選擇合適的攝像接頭,安裝在攝像接口上,組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給SM-1000帶來更自由的操作空間。
探測工作站
SM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,進行硅片的測試。
激光裝置
SM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,并提供補償墊片。無需專用的激光工具箱,就
可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前,請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在SM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產
生的安全和性能問題,我公司對此概不負責。
技術指標:
目鏡 |
WF10X/24,視場直徑Φ24mm,獨立矯正色差 |
雙目頭 |
瞳距調節(jié)范圍55-75mm |
上主體 |
分光比為50:50或0:100 |
管鏡 |
1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS |
轉換器 |
4孔,中心可調 |
物鏡 |
長工作距離或超長工作距離;無限遠平場復消色差;齊焦距離:95mm;連接螺紋:M26X1/36"(0.706);齊焦機構(可選) |
調焦機構 |
調焦行程:52mm;粗動手輪4mm/轉; 微動手輪0.1mm/轉;微動手輪1μm/格;最大承載重量:45磅(20.4Kg) |
照明系統(tǒng) |
同軸垂直照明,可變孔徑光欄(Φ0.8~Φ0.6) |
冷光源 |
輸入電壓:110V或220V; 150W/21V; 鹵素燈遙控器(可選) |
移動載物臺 |
XY行程:75X50mm |
人機工程頭部 |
轉動范圍3°~ 30° |