一、 電鏡主機(jī)
（一） 鏡筒部分
1. 鏡筒
電子槍為自給偏壓三極電子槍，鎢絲陰極。柵帽到陽(yáng)極的距離可調(diào)，特別適合低加速電壓工作的需要，并可在外部進(jìn)行對(duì)中調(diào)整。還設(shè)有電磁對(duì)中調(diào)整。電子光學(xué)鏡筒為三級(jí)電磁透鏡（兩個(gè)聚光鏡，一個(gè)物鏡）。采用國(guó)際領(lǐng)先技術(shù)算法設(shè)計(jì)的錐形物鏡，在獲得高質(zhì)量電鏡圖象的同時(shí)，使配接的能譜儀信號(hào)采集效率大幅提高。在透鏡中間有真空密封的電子束通道管，以利于清洗。物鏡光闌為外部可調(diào)的三個(gè)光闌。整個(gè)鏡筒由坡莫合金罩屏蔽。二次電子象分辨率優(yōu)于3.0nm。
2. 翻開(kāi)式電子槍
具有大翻開(kāi)角，使更換燈絲輕松、方便。
3. 專用大樣品室和大樣品臺(tái)
樣品室內(nèi)部尺寸：Φ300×280mm。設(shè)有8個(gè)接口，可裝配背反射電子探測(cè)器、X光能譜儀和X光波譜儀等多種探測(cè)器同時(shí)使用。
樣品臺(tái)位移X=80mm，Y=60mm，Z=50mm，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°，傾斜范圍0～90°，可觀察樣品Φ80mm，最大樣品Φ110mm。
4. 高真空鏡筒隔斷閥
該閥用于更換樣品時(shí)切斷電子槍及樣品室通道，保證電子槍始終處于高真空狀態(tài)，縮短換樣品時(shí)間，降低換樣品時(shí)對(duì)系統(tǒng)的污染程度。

（二） 電氣控制柜
1. PC計(jì)算機(jī)及操作系統(tǒng)
采用XP操作系統(tǒng)，用于管理整個(gè)系統(tǒng)。圖象可隨時(shí)存儲(chǔ)在機(jī)內(nèi)的大容量硬盤及軟盤上，或輸出由打印機(jī)打印。
2. 圖象顯示系統(tǒng)
實(shí)現(xiàn)1024×768顯示方式。圖像具有256個(gè)灰度等級(jí)，圖像層次豐富細(xì)致，可在圖象上進(jìn)行字符編輯，標(biāo)記顯示，實(shí)時(shí)顯示放大倍數(shù)，μ標(biāo)尺，加速電壓，還可顯示各種灰度曲線，處理結(jié)果，同屏顯示實(shí)時(shí)圖像或多幅圖像并可顯示各種不同處理后的結(jié)果。
3. 圖象采集系統(tǒng)
該系統(tǒng)可對(duì)SEM的二次圖像、背反射圖像進(jìn)行采集。通過(guò)軟件編程，可實(shí)現(xiàn)對(duì)視頻進(jìn)行調(diào)解，以達(dá)到對(duì)用戶有用信號(hào)幅值進(jìn)行256個(gè)灰度級(jí)的數(shù)字量化。
4. 圖象處理模塊
采用現(xiàn)場(chǎng)可編程邏輯控制器件，可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)濾波功能，具有體積小，速度快，功能強(qiáng)的特點(diǎn)。
5. 圖像、菜單采用17”彩色顯示器顯示
6. 放大倍數(shù)，工作距離自動(dòng)修正，數(shù)字實(shí)時(shí)顯示及CRT實(shí)時(shí)顯示
放大倍數(shù) 5～300,000倍