點(diǎn)擊圖片查看原圖
|
形號(hào) |
Sol161 |
|
量測(cè)行程 |
160x160x160mm |
|
外形尺寸 |
545x705x775mm |
|
重量 |
55kg |
|
承載重量 |
9kg |
|
平臺(tái)材質(zhì) |
鋁合金 |
|
基座材質(zhì) |
鋁合金 |
|
傳動(dòng)方式 X&Y |
Steel Cross Roller Bearings |
|
XY 精度 |
U=(2.8+L/150)μm |
|
Z 精度 |
U=(2.8+L/100)μm |
|
XY 重現(xiàn)性 |
U=2.8μm |
|
Z 重現(xiàn)性 |
U=2.8μm |
|
光學(xué)尺分辨率 |
1.0μm |
|
影像 |
高分辨率彩色系統(tǒng) |
|
光源 |
輪廓光,表面光,同軸光 |
|
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率 |
6.5:1 光學(xué) Zoom, 0.7-4.5x |
|
量測(cè)系統(tǒng) |
InSpec for Windows Metrology Software |
|
工作環(huán)境 |
20℃±2°,30-80% 濕度 |
|
電源系統(tǒng) |
93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp |
Sol161