點(diǎn)擊圖片查看原圖
|
型號(hào) |
Vertex251 |
Vertex12x12 |
|
XY 精度 |
Uxy=2.0+L/250 |
Uxy=2.6+L/175 |
|
Z 精度 |
Ux=2.5+L/150 |
Ux=3.0+L/150 |
|
XY 重現(xiàn)性 |
2.0μm |
2.5μm |
|
Z 重現(xiàn)性 |
2.0μm |
2.0μm |
|
XY 加速度 |
500mm/S2 |
|
|
Z 加速度 |
200mm/S2 |
|
|
XY 移動(dòng)速度 |
250mm/s |
|
|
Z 移動(dòng)速度 |
100mm/s |
|
|
光學(xué)尺分辨率 |
1.0μm, 0.5μm, 0.1μm |
|
|
量測(cè)行程 |
200x150x150mm |
300x300x150mm |
|
外形尺寸 |
760x635x965mm |
1090x865x990mm |
|
重量 |
60kg |
125kg |
|
承載重量 |
7.5kg |
12kg |
|
基座材質(zhì) |
鋁合金(花崗巖選購(gòu)l) |
|
|
傳動(dòng)方式 |
Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z |
|
|
電控系統(tǒng) |
伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo), 搖桿 |
|
|
光學(xué)系統(tǒng) &放大倍率 |
12:1 光學(xué) Zoom, 17-410x 或 6.5:1光學(xué) Zoom, 20-250x |
|
|
影像 & 光源 |
紅光LED (黑白系統(tǒng))或白光 LED(彩色系統(tǒng)) |
|
|
軟件 |
InSpec for Windows Metrology Software |
|
|
工作環(huán)境 |
20℃±2°,30-80% 濕度 |
|
Vertex251光學(xué)投影機(jī)