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型號(hào) |
501 UM / 501 UC |
502 UM / 502 UC |
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量測(cè)行程 |
400 x 500 x 160 mm |
400 x 500 x 250 mm |
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外形尺寸 |
1100 x 1200 x 1550mm |
1100 x 1200 x 1650mm |
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重量 |
860kg |
900kg |
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XY 移動(dòng)速度 |
700 mm/s |
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XY 加速度 |
1400mm/S2 |
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Z 移動(dòng)速度 |
100 mm/s |
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Z 加速度 |
450mm/S2 |
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光學(xué)尺分辨率 |
0.1μm |
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XY 精度 |
2.5 + L/200 |
2.8 + L/200 |
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Z? 精度 |
2.5 + L/100 |
3.0 + L/100 |
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鏡頭倍率(光學(xué),數(shù)字) |
36x(12x, 3x) |
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放大倍率 |
15x-540x to 30x-1080x |
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表面光, 輪廓光,同軸光光源 |
紅光LED (黑白系統(tǒng)) 白光 LED(彩色系統(tǒng)) |
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承載重量 |
100kg |
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電源系統(tǒng) |
93-264 VAC,47-63 Hz |
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工作溫度 |
20℃±2° |
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存放溫度 |
-25℃ ~ 60℃ |
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工作濕度 |
30%-80% |
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Excel 500