型號 

Excel 1601 UM/UC 

Excel 1602 UM/UC 

Excel 1604 UM/UC 

量測行程 

1050 x 1650 x 160mm

1050 x 1650 x 250mm

1050 x 1650 x 400mm

外形尺寸 

1720 x 2600 x 1650mm

1720 x 2600 x 1850mm

1720 x 2600 x 2000mm

重量 

3450kg 

3500kg 

3600kg 

光學尺分辨率 

0.1μm

XY 精度,E2

3.3 + L/300

3.6 + L/300

4.3 + L/200

Z 精度,E1

2.8 + L/100

3.3 + L/100

3.8 + L/100

鏡頭倍率(光學,數(shù)字)

36x (12x,3x)

表面光, 輪廓光,同軸光光源 

紅光LED (黑白系統(tǒng)) 白光 LED(彩色系統(tǒng))

放大倍率 

15x - 540x to 30x - 1080x

電源系統(tǒng) 

93-264 VAC,47-63 Hz

工作溫度 

20℃±2°

存放溫度 

-25℃ ~ 60℃

工作濕度 

30%-80%