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美國(guó) HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè)。HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時(shí)，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個(gè)氣動(dòng)電磁閥和一個(gè)空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式：一個(gè)電磁閥控制閥門的完全關(guān)閉和完全開啟，另一個(gè)電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對(duì)清潔度要求高、低除氣的高真空行業(yè)。.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 機(jī)械預(yù)設(shè)、遙控過渡閥位
2. 三個(gè)位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：
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閥門材質(zhì)： |
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閥門主體 |
304不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅(qū)動(dòng)軸和驅(qū)動(dòng)銷 |
硬質(zhì)不繡鋼 |
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閥門密封方式： |
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高真空 |
氟橡膠 |
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漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
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差壓關(guān)閉 |
1 bar |
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真空： |
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壓力范圍 |
高真空1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關(guān)閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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閥門主體 |
150 °c |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
氣動(dòng) 60 °c |
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使用壽命：100,000啟閉次數(shù) |
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公稱通徑：DN100-320 mm |
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HVA 三位真空閘閥 21700 系列訂貨號(hào)及2D,3D展示圖
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DN |
Model |
KF/ISO-F |
ISO-K |
CF-F* |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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mm |
inch |
Number |
3 (Bolted) |
6 (Clamped) |
0 or 4 (Conflat) |
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100 |
4.00 |
21712-040_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
160 |
6.00 |
21712-060_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
200 |
8.00 |
21712-080_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
250 |
10.00 |
21712-100_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
320 |
12.00 |
21712-120_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
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HVA 三位真空閘閥 21700 系列部件圖
美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)最大真空閥門制造商。美國(guó)HVA原裝進(jìn)口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商。
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