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HVA 真空閘閥 81000系列
美國(guó) HVA 真空閘閥 81000 系列，閥門(mén)主體材質(zhì)鋁，適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過(guò) 150°C 的高真空應(yīng)用。HVA 真空閘閥 81000系列專為系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)研發(fā)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、LED / FPD、涂料、鍍膜和生物制藥。
HVA 真空閘閥 81000系列 產(chǎn)品性能：
1.真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門(mén)的最大完整性，有效消除了虛漏和缺陷部分，避免閥體變形。
2.比同等口徑的不銹鋼閥門(mén)氫氣脫氣率低
3.適用壽命長(zhǎng)： 400,000啟閉次數(shù)
4.高性能 PEEK 組件
HVA 真空閘閥 81000系列 技術(shù)參數(shù)：
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閥門(mén)材質(zhì)： |
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閥門(mén)主體 |
6061-T6鋁 |
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軸封 |
[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS |
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支架 |
6061-T6/ PEEK |
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密封件 |
氟橡膠 |
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閥門(mén)密封方式： |
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高真空 |
氟橡膠 |
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漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
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差壓關(guān)閉 |
1 bar |
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真空： |
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壓力范圍 |
高真空1x10-7 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關(guān)閉 |
1.6 bar (任意位置) |
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開(kāi)啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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閥門(mén)主體 |
120 °c |
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驅(qū)動(dòng)方式 |
80 °c |
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使用壽命：400,000啟閉次數(shù) |
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公稱通徑：DN100-320 mm |
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美國(guó) HVA 真空閥門(mén)-美國(guó)最大真空閥門(mén)制造商。美國(guó)HVA原裝進(jìn)口真空閥門(mén)，超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門(mén)設(shè)計(jì)與制造。主營(yíng)高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國(guó)HVA 真空閥門(mén)在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商。
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