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美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列
美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應用。超長使用壽命1,000,000 啟動次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進口閥門與低溫泵、渦輪分子泵，離子泵等完美聯(lián)用。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列產品特點
直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器。獨特的氣缸設計使沖擊和振動減少到最小。HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列真空腔內沒有機械鎖，因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè)。所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產生并且使驅動更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內部表面區(qū)域。閥體和所有內部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門的最大完整性。 在保養(yǎng)方面，支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來。閥門手動、氣動可選，標準或定制法蘭滿足不同應用。HVA 標準周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動超控。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列技術參數(shù)
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閥門材質： |
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閥門主體 |
304不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅動軸和驅動銷 |
硬質不繡鋼 |
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密封件 |
氟橡膠 |
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真空： |
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壓力范圍 |
1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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佛橡膠密封 |
150 °c |
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驅動方式 |
手動 60 °c;氣動 60 °c |
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使用壽命：1,000,000啟閉次數(shù) |
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公稱通徑：DN16-320 mm |
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HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產品訂貨號及2D,3D圖展示
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DN |
Model |
KF/ISO-F |
ISO-K |
CF-F* |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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mm |
inch |
Number |
3 (Bolted) |
6 (Clamped) |
0 or 4 (Conflat) |
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16 |
0.625 |
21212-006_ |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
40 |
1.5 |
21212-015_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
50 |
2 |
21212-020_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
63 |
2.5 |
21212-025_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
80 |
3 |
21212-030_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
100 |
4 |
21212-040_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
160 |
6 |
21212-060_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
200 |
8 |
21212-080_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
|
250 |
10 |
21212-100_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
|
320 |
12 |
21212-120_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
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HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產品部件圖
美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商。美國HVA原裝進口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設計與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應用于半導體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
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