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上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應(yīng)用于寬范圍的襯底, 離子源長(zhǎng)度高達(dá) 1 米, 通過(guò)嚴(yán)格調(diào)整模組間的距離可以實(shí)現(xiàn)最佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡(jiǎn)化了氣體, 功率和電子三者的分布.
KRI 線性離子源使用標(biāo)準(zhǔn)的端部霍爾模組并使設(shè)備的需求簡(jiǎn)化, 一個(gè)低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng).
尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體
伯東KRI 霍爾離子源 eH Linear 技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5
供電
DC magnetic confinement
- 電壓
40-200V VDC
- 陽(yáng)極結(jié)構(gòu)
模塊化
電源控制
eHL-30010A
配置
-
- 陰極中和器
Filamentless
- 離子束發(fā)散角度
> 45° (hwhm)
- 陽(yáng)極
標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved
- 底座
移動(dòng)或快接法蘭
- 高度
10 cm
寬度
10 cm
- 長(zhǎng)度
~ 100cm
-工藝氣體
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others
Model
eHL 200-3
eHL 200-5
Height (nominal)
2.9” (7.4cm)
2.9” (7.4cm)
Width (nominal)
3.3” (8.4cm)
3.3” (8.4cm)
Length (nominal)
Determined by number of modules & application
Determined by number of modules & application
Cathode/Neutralizer
Yes
Yes
Anode module
Yes
Yes
Filamentless
Yes
Yes
Orientation
Vertical / Horizontal
Vertical / Horizontal
Process gases
Inert, reactive, & organic
Inert, reactive, & organic
Power controller
eH Plasma Power Pack
eH Plasma Power Pack