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上海伯東代理美國考夫曼博士設立的考夫曼公司 KRI 離子源, 100%原廠原裝進口.
KRI 射頻離子源 RFICP 380 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >1500 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
離子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長.
離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.
通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:
1. 大面積射頻離子源
2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求
3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求
4. 離子束流: >1500 mA
5. 離子動能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配
8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW
9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝
10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用
11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術參數：
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射頻離子源型號 |
RFICP 380 |
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Discharge 陽極 |
射頻 RFICP |
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離子束流 |
>1500 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
30 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
39 cm |
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直徑 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
組成構件：
1. 底座風冷風扇
2. Grid ((柵級)) 模組
3. RF Coil (射頻銅管)
4. 石英杯
5. LFN 2000 (燈絲) 中和器