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HVA 矩形閥 Load-lock 典型應(yīng)用
上海伯東某生產(chǎn)原生多晶矽料生產(chǎn)設(shè)備, 矽片加工設(shè)備, 晶體矽電池生產(chǎn)設(shè)備企業(yè), 使用美國 HVA 矩形閥用于真空機(jī)臺(tái)的 Load-lock工位, HVA 矩形閥安裝在 2X18 英寸規(guī)格內(nèi)的矽片生產(chǎn)線上, 起到輔助傳遞矽片, 隔離真空腔室的作用.
矽片比較薄, 一般可到200um, 還比較脆, 所以在傳送過程中對(duì)震動(dòng)比較敏感, 同時(shí)需要安裝于設(shè)備上的矩形閥方便維護(hù), 使用壽命長. 經(jīng)過伯東推薦, 客戶采購美國 HVA 88200 系列不銹鋼矩形閥.
美國 HVA 矩形閥具有獨(dú)特的密封系統(tǒng), 可避免粉塵顆粒污染, 有效減少了維護(hù)次數(shù). 外形尺寸小, 采用了專利技術(shù)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),運(yùn)行時(shí)震動(dòng)小. 很好的滿足了客戶的需求. 與友廠 VAT 真空閥門對(duì)比, HVA 真空閥門維護(hù)更簡單, 無需將閥門從設(shè)備上移除, 常規(guī)保養(yǎng)直接更換密封圈即可.
HVA 矩形閥 88200 系列
> 1000000 次 啟閉次數(shù)
高壓不銹鋼坯體加工閥門主體
矩形閥尺寸: 高≤6 " ID (DN150) / 寬≤78 " ID (DN2000)
不銹鋼焊接波紋管
矩形閥 專利傳動(dòng)軸設(shè)計(jì), 振動(dòng)小
可選擇高達(dá) 200℃的高溫型號(hào)
可定制, HVA 矩形閥適用于所有真空應(yīng)用
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