FS4001微型氣體流量傳感器 廣州迪川 儀器儀表有限公司
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FS4001微型氣體流量傳感器 廣州迪川 儀器儀表有限公司 詳細信息 產(chǎn)品概述: FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測量范圍最大到5SLPM;適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。 FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測量范圍最大到50SLPM; 產(chǎn)品特點: - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計 - 支持多種連接方式,易于安裝與使用 - 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量 - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高 - 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 - 零點穩(wěn)定度高 - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性 - 低功耗、低壓損 - 響應速度快 產(chǎn)品特點: 性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位 通 徑 3 8 mm 最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 量程比 100:1 精 度 ±(1.5+0.2FS) % 重復性 0.75 % 零點輸出飄移 ±30 mV 輸出飄移 0.12 %/oC 響應時間 100 ms 工作電源 8~18Vdc,100mA 輸出方式 線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 最大流量壓損 100 600 pa 最大工作壓力 0.5 MPa 工作溫度 -10 ~ +55 oC 存儲溫度 -20 ~ +65 oC 工作濕度 <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) 機械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 校準方式 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa 重量 57(帶R1/4,BSPT1/4接口) 71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭) 英文說明 Unit performance parameters FS4003 FS4008 3 8 mm diameter Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 100:1 turndown ratio Accuracy ± (1.5 +0.2 FS)% Repeatability 0.75% Zero drift ± 30 mV Output drift 0.12% / oC Response time 100 ms Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc Maximum flow pressure loss 100 600 pa Maximum working pressure of 0.5 MPa Operating temperature -10 ~ +55 oC Storage temperature -20 ~ +65 oC Humidity <95% RH (with no icing or condensation) Mechanical interface BSPT1 / 4 (R1 / 4), 4mm/6mm/8mm quick connector Calibration methods of air (or other gases), 20oC, 101.325kPa Weight of 57 (with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface) 71 (with 4mm, 8mm fast interface, 68 (with 6mm quick connector) |
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