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SM5812/SM5852壓阻式壓力傳感器
SM5812和SM5852系列為硅微結(jié)構(gòu)OEM壓力傳感器，結(jié)合了先進(jìn)的COMS數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)及最先進(jìn)的壓力傳感器加工技術(shù)生產(chǎn)的具有放大、充分校準(zhǔn)、多階壓力修正和溫度補(bǔ)償雙列直插式封裝的高性能壓力傳感器。
使用先進(jìn)的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器，并集成信號(hào)調(diào)節(jié)ASIC技術(shù)，大大的簡(jiǎn)化了高性能壓力傳感器的使用。SM5812和SM5852系列高性能壓力傳感器可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)的PCB板上，經(jīng)過(guò)放大、高精確性、校準(zhǔn)過(guò)的壓力信號(hào)可以通過(guò)數(shù)字接口或者模擬輸出。這可以省去額外的電路，例如補(bǔ)償電路或者自定義的微控制器校準(zhǔn)電路。
SM5812和SM5852系列壓力傳感器基于SMI高穩(wěn)定性安裝在陶瓷基板上的壓阻式壓力芯片，一個(gè)可編程ASIC邏輯器件提供了校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。
特點(diǎn) 應(yīng)用
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l 放大、校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償高輸出跨度（0.5V至4.5V信號(hào)）
l 數(shù)字溫度和校準(zhǔn)壓力可通過(guò)I2C接口
l 輸出電壓與輸入電壓成比例
l 雙列直插式封裝易于使用
l 多階壓力、溫度非線性修正（工廠編程）
l 多級(jí)滿量程溫度系數(shù)和零點(diǎn)溫度系數(shù)校準(zhǔn)（工廠編程）
l 表壓、差壓和絕壓高性能傳感器
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l 氣壓測(cè)量
l 醫(yī)療器械
l 氣動(dòng)控制
l 氣體流量
l 呼吸器和通風(fēng)設(shè)備
l 暖氣、通風(fēng)及空調(diào)
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性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫25℃，5V直流恒壓源供電的條件下測(cè)量而得，除非另外規(guī)定。
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絕壓、表壓和正差壓
|
差壓
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||||||
|
最小值
|
典型值
|
最大值
|
最小值
|
典型值
|
最大值
|
單位
|
|
|
零點(diǎn)輸出（絕壓和表壓）
|
0.42
|
0.50
|
0.58
|
V
|
|||
|
零點(diǎn)輸出（差壓）
|
2.42
|
2.50
|
2.58
|
V
|
|||
|
滿量程輸出
0.15psi滿量程輸出
|
3.92
|
4.00
|
4.08
|
1.96
|
2.00
|
2.04
|
V FS
|
|
3.80
|
4.00
|
4.20
|
1.90
|
2.00
|
2.10
|
V FS
|
|
|
線性度
0.15psi 線性度
|
-0.5
|
+0.5
|
-0.5
|
+0.5
|
%FS
|
||
|
-2.5
|
+2.5
|
-2.5
|
+2.5
|
%FS
|
|||
|
壓力遲滯性 5812
5852
|
-0.1
|
+0.1
|
-0.1
|
+0.1
|
%FS
|
||
|
-0.3
|
+0.3
|
-0.3
|
+0.3
|
%FS
|
|||
|
零點(diǎn)溫度系數(shù)
0.15psi溫度系數(shù)
|
-1.0
|
+1.0
|
-1.0
|
+1.0
|
%FS
|
||
|
-2.5
|
+2.5
|
-2.5
|
+2.5
|
%FS
|
|||
|
滿量程溫度系數(shù)
0.15psi滿量程溫度系數(shù)
|
-1.0
|
+1.0
|
-1.0
|
+1.0
|
%FS
|
||
|
-2.0
|
+2.0
|
-2.0
|
+2.0
|
%FS
|
|||
|
熱遲滯性
|
-0.1
|
+0.1
|
-0.1
|
+0.1
|
%FS
|
||
|
響應(yīng)時(shí)間
|
2
|
2
|
ms
|
||||
|
供電電壓
|
4.75
|
5.00
|
5.25
|
4.75
|
5.00
|
5.25
|
V
|
|
耗電電流
|
10
|
10
|
mA
|
||||
|
過(guò)壓 5812
5852
|
3X
|
3X
|
%FS
|
||||
|
15X
|
15X
|
%FS
|
|||||
|
工作溫度
|
-40
|
25
|
+125
|
-40
|
25
|
+125
|
℃
|
|
補(bǔ)償溫度
|
0
|
25
|
+70
|
0
|
25
|
+70
|
℃
|
|
存儲(chǔ)溫度
|
-55
|
25
|
+135
|
-55
|
25
|
+135
|
℃
|
備注：
1、 只有SM5812系列才有絕壓類型
2、 壓力類型S（Pressure Type-S）有兩個(gè)接氣端口，用于高增益正差壓
3、 輸出與輸入電壓成正比
4、 滿量程是指零壓力與額定壓力之差，差壓可以使用±FS。絕壓和表壓零點(diǎn)輸出標(biāo)準(zhǔn)值為0.5V，滿量程輸出為4.5V，跨度有別于滿量程輸出和零點(diǎn)輸出。對(duì)于差壓壓力傳感器而言，負(fù)壓力的滿量程輸出標(biāo)準(zhǔn)值為0.5V，零點(diǎn)輸出標(biāo)準(zhǔn)值為2.5V；正壓力滿量程輸出標(biāo)準(zhǔn)值為4.5V ±2.0 V跨度輸出
5、 低于額定壓力（低于0）時(shí)飽和放大器輸出約為0.25V，高于額定滿量程壓力時(shí)飽和放大器輸出約為4.75V
6、 一個(gè)100nF的濾波電容必須放置于地與供電腳之間
7、 所測(cè)介質(zhì)必須是清潔、干燥并與材質(zhì)兼容，材質(zhì)包括高硼硅玻璃、硅、氧化鋁陶瓷、環(huán)氧、RTV電子硅膠、黃金、鋁和鎳