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SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器
SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器，完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償微差壓雙列直插高性能壓力傳感器。
SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩(wěn)定壓阻式壓力傳感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進(jìn)行零度校正、零點(diǎn)溫度補(bǔ)償和靈敏度溫度補(bǔ)償。SM5651只能用恒流驅(qū)動(dòng)，一個(gè)額外的電阻修剪正常化的外部差分放大器的輸出提供了跨度校準(zhǔn)。而SM5652在恒壓激勵(lì)下對(duì)輸出信號(hào)很容易進(jìn)行放大。
SM5651芯片有額外的增益電阻，采用恒流激勵(lì)，SM5652采用恒壓激勵(lì)。
特點(diǎn) 應(yīng)用
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l 微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi l 恒流或恒壓激勵(lì) l 溫度補(bǔ)償范圍寬（0-60℃） l 跨度校準(zhǔn)正高達(dá)±2% l 零點(diǎn)校準(zhǔn)及溫度補(bǔ)償 l 高性能、穩(wěn)定的硅芯片封裝 l 表壓和差壓配置 |
l 醫(yī)療設(shè)備 l 呼吸機(jī)、麻醉機(jī)和監(jiān)護(hù)儀 l HVAC（空調(diào)） l 水平監(jiān)測(cè) l 流量測(cè)量 l 工業(yè)控制 l 微差壓變送器 |
性能參數(shù)
測(cè)試的條件是：SM5651激勵(lì)電流源為1.5mA，室溫為25℃；SM5652激勵(lì)電壓源為10.00V DC，室溫25℃，除非另有規(guī)定。
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最小值
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典型值
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最大值
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單位
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激勵(lì)源
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激勵(lì)電壓源 DC（SM5652）
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>0
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10.00
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20.00
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V
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激勵(lì)電流源 DC（SM5651）
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>0
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1.50
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3.00
|
mA
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滿量程輸出
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SM5651滿量程輸出
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25.0
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45.0
|
75.0
|
mV
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SM5652滿量程輸出
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24.5
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25.0
|
25.5
|
mV
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零點(diǎn)輸出
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-2.00
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+0.20
|
2.00
|
mV
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溫度系數(shù)
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||||
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滿量程溫度系數(shù)
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-0.65
|
+0.20
|
0.65
|
%FS
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零點(diǎn)溫度系數(shù)
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-1.00
|
+0.20
|
1.00
|
%FS
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溫度遲滯性
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-0.30
|
+0.05
|
0.30
|
%FS
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|
準(zhǔn)確度
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||||
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線性度（非線性誤差）
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-0.30
|
+0.05
|
+0.30
|
%FS
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重復(fù)性
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-0.30
|
+0.05
|
+0.30
|
%FS
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壓力遲滯性
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-0.30
|
+0.05
|
+0.30
|
%FS
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靈敏度匹配性
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-2.0
|
-0.2
|
+2.0
|
%FS
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阻抗（SM5651）
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||||
|
輸入阻抗
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1.80
|
3.00
|
3.80
|
kΩ
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|
輸出阻抗
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2.70
|
3.30
|
3.80
|
kΩ
|
|
阻抗（SM5652）
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||||
|
輸入阻抗
|
4.50
|
8.00
|
25.00
|
kΩ
|
|
輸出阻抗
|
2.00
|
2.50
|
3.80
|
kΩ
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溫度范圍
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補(bǔ)償溫度
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+0
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+60
|
℃
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工作溫度
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-40
|
+125
|
℃
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存儲(chǔ)溫度
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-40
|
+125
|
℃
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動(dòng)力特性
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耐壓
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10ⅹ
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Rated FS
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爆破壓力
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15ⅹ
|
Rated FS
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備注：
1、正壓指的是從晶圓底部進(jìn)入；增益，在工廠校準(zhǔn)使用的是負(fù)壓
2、對(duì)于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(最小)至26.25（最大）
3、測(cè)量溫度超過22~58℃
對(duì)于量程為0.15psi，滿量程溫度系數(shù)為±2%FS；零點(diǎn)溫度系數(shù)為±2%FS；對(duì)于量程為0.3psi，滿量程溫度系數(shù)為±0.75%FS
4、對(duì)于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對(duì)于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、最佳直線擬合，是從晶圓頂部測(cè)量的
對(duì)于量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對(duì)于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對(duì)于量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS