CVD腐蝕清洗臺
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CVD腐蝕清洗臺
詳細信息 1.品牌:《南北電子》
2.設備適用:該設備適用于薄晶圓(到80 µm)以及符合 SEMI單晶圓濕法工藝標準的晶圓。
3.設備特點:采用標準的濕法工藝對硅晶圓片進行清潔、去膠、刻蝕和光刻。全電腦自動控制方式,保護脆弱的薄晶圓在工藝流程中不受損毀。
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