PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器
 
測(cè)量用等離子體的發(fā)射可在僅3毫秒內(nèi)達(dá)到200～1100nm的波長(zhǎng)。PlasCals系列監(jiān)控器為數(shù)據(jù)的獲取提供高級(jí)過(guò)程控制和精密的數(shù)據(jù)運(yùn)算。 

功能特點(diǎn) 

1.0nm（半最大值全波）光學(xué)解析度  
200～1100nm波長(zhǎng)范圍  
快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法  
調(diào)制步驟編輯 

調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡(jiǎn)單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對(duì)多數(shù)復(fù)雜的等離子體過(guò)程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設(shè)置：例如測(cè)量薄膜沉積情況、監(jiān)測(cè)等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測(cè)反常的污染和排放現(xiàn)象等。 

用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具 

PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(zhǎng)數(shù)據(jù)庫(kù)，可以另外單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)，它能夠提供種類的鑒定；而波長(zhǎng)編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口，可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過(guò)程信息。 

【光電測(cè)量產(chǎn)品】 

 光源  真空紫外光譜儀  訂制光譜儀  軟X射線光譜儀  拉曼光譜儀  紅外\紫外激光觀察儀  夜視儀器  HPLC熒光光度計(jì)  CCD相機(jī)  動(dòng)態(tài)光散射  高速攝影照相機(jī)  光纖光譜儀  海洋系列光譜儀  光譜系統(tǒng)  原子力顯微鏡  探測(cè)器  濾光片  紅外光譜儀  單色儀  光柵  照度計(jì)  光信號(hào)電子學(xué)儀器  工業(yè)內(nèi)窺鏡  薄膜測(cè)量  PC示波器  數(shù)字記錄儀  遠(yuǎn)紅外太赫茲光譜儀  太陽(yáng)光模擬器  袖珍數(shù)碼顯微鏡相機(jī)  壓電陶瓷  紫外線固化機(jī)  紫外反射鏡  濾光片測(cè)量?jī)x  電動(dòng)位移臺(tái)/電控位移臺(tái)  納米位移臺(tái)  光電探測(cè)器  均勻光源  

【激光系列產(chǎn)品】 

 光纖激光器  多模泵浦激光器  激光二極管未封裝bar  激光二極管冷卻裝置  激光器電源  氦氖激光器  CO2激光器  半導(dǎo)體泵浦激光器  氬離子激光器  氦鎘激光器  氮分子激光器  皮秒激光器  激光二極管電源  激光光譜測(cè)量  激光能量計(jì)/功率計(jì)  激光雕刻、打標(biāo)、切割機(jī)  激光二極管模塊  深紫外、紫外固體激光器  信號(hào)發(fā)生器  超快飛秒激光器  熱電制冷產(chǎn)品  激光光束定位系統(tǒng)  激光光束分析儀  視頻顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)  激光準(zhǔn)直器  多通道激光功率計(jì)  半導(dǎo)體激光器  激光測(cè)距儀  紅外激光顯示卡  調(diào)Q激光器  激光護(hù)目鏡  光學(xué)平臺(tái)  光學(xué)調(diào)整架  光學(xué)微調(diào)架  可調(diào)嵌入式光學(xué)調(diào)整架  傾斜位移臺(tái)  通用調(diào)整臺(tái)  光學(xué)延遲線  手動(dòng)位移臺(tái)  XY位移臺(tái)  光學(xué)旋轉(zhuǎn)臺(tái)  角位移調(diào)整臺(tái)  激光器附件  可變光闌  擴(kuò)束鏡  拉曼激光器  大功率光纖耦合激光器