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X射線熒光光譜分析：通常把X射線照射在物質(zhì)上而產(chǎn)生的次級X射線叫X射線熒光（X—Ray Fluorescence），而把用來照射的X射線叫原級X射線，通過分析次級X射線的方法叫做X射線熒光光譜分析。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中的每一種元素。在實際應(yīng)用中，有效的元素測量范圍為11號元素 （Na）到92號元素（U）。
一臺典型的X射線熒光光譜分析（XRF）儀器由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器通過軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。作為一種元素分析技術(shù)，現(xiàn)在已完全成熟，已廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域。
目前X射線熒光光譜分析儀分為波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)兩種，以下是它們原理構(gòu)造圖：
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