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保證分辨率 |
3.0nm（30kV） |
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放大倍數(shù) |
5至300,000x |
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加速電壓 |
0.5kV至30kV |
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電子槍 |
工廠預對中燈絲 |
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聚光鏡 |
變焦聚光鏡 |
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物鏡 |
錐形物鏡 |
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樣品臺 |
全對中樣品臺 |
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X-Y |
80mm-40mm |
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Z |
5mm至48mm |
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旋轉 |
360° |
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傾斜 |
－10°至＋90° |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx1 |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx2 |
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保證分辨率 |
3.0nm（30kV） |
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放大倍數(shù) |
5至300,000x |
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加速電壓 |
0.5kV至30kV |
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電子槍 |
工廠預對中燈絲 |
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聚光鏡 |
變焦聚光鏡 |
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物鏡 |
錐形物鏡 |
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樣品臺 |
全對中樣品臺 |
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X-Y |
80mm-40mm |
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Z |
5mm至48mm |
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旋轉 |
360° |
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傾斜 |
－10°至＋90° |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx1 |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx2 |
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保證分辨率 |
3.0nm（30kV） |
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放大倍數(shù) |
5至300,000x |
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加速電壓 |
0.5kV至30kV |
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電子槍 |
工廠預對中燈絲 |
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聚光鏡 |
變焦聚光鏡 |
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物鏡 |
錐形物鏡 |
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樣品臺 |
全對中樣品臺 |
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X-Y |
80mm-40mm |
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Z |
5mm至48mm |
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旋轉 |
360° |
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傾斜 |
－10°至＋90° |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx1 |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx2 |
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保證分辨率 |
3.0nm（30kV） |
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放大倍數(shù) |
5至300,000x |
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加速電壓 |
0.5kV至30kV |
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電子槍 |
工廠預對中燈絲 |
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聚光鏡 |
變焦聚光鏡 |
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物鏡 |
錐形物鏡 |
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樣品臺 |
全對中樣品臺 |
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X-Y |
80mm-40mm |
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Z |
5mm至48mm |
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旋轉 |
360° |
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傾斜 |
－10°至＋90° |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx1 |
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排氣系統(tǒng) |
DPx1，RPx2 |
操作窗口
直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶
單個用戶可以根據(jù)常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。
同時顯示兩幅圖像
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結構測量
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。
標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片
3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便
工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內(nèi)部無活動部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護簡便的特色。