近年來(lái)，在全球刮起了一股石墨烯旋風(fēng)，越來(lái)越多的企業(yè)和科研單位開(kāi)始致力于石墨烯材料的制備和測(cè)試，檢測(cè)石墨烯的形貌結(jié)構(gòu)顯得尤為重要我們發(fā)現(xiàn),三維共聚焦顯微鏡既用來(lái)觀察樣品表面亞μm程度的三維形態(tài)和形貌，又可以測(cè)量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等等。而且測(cè)試方便快捷，不損壞樣品，實(shí)際利用中比掃描電鏡、原子力顯微鏡更加適用。國(guó)家級(jí)泰州石墨烯研究檢測(cè)火炬平臺(tái)的多名專家指出，三維共聚焦顯微鏡可以輕松檢測(cè)通過(guò)PMMA轉(zhuǎn)移的石墨烯（檢測(cè)PMMA殘留）、通過(guò)PET轉(zhuǎn)移的石墨烯、銅基石墨烯的三維形貌等等，在石墨烯領(lǐng)域內(nèi)已經(jīng)開(kāi)始了廣泛有效的應(yīng)用。

巨納集團(tuán)的三維共聚焦顯微鏡（NanoFocus μsurf）機(jī)臺(tái)功能齊全，結(jié)構(gòu)緊湊，性價(jià)比高，并擁有超高光學(xué)分辨率和最全面廣泛的三維表面形貌分析能力，成為了國(guó)內(nèi)眾多石墨烯用戶的首選。該設(shè)備采用多孔共聚焦專利技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式的無(wú)損表征，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量及樣品前期制備，僅需5~10秒即可完成測(cè)量；也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更精確量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。