伯東企業(yè)（上海）有限公司作為德國 Pfeiffer 真空設(shè)備, 美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀, 美國 KRi 離子源, 美國 HVA 高真空閘閥, 等國際知名進口真空品牌的指定代理商, 參展 SemiCon China 2023 上海半導(dǎo)體展！

上海伯東憑借多年真空經(jīng)驗, 在提供合適的產(chǎn)品同時更為您提供各類真空工藝的解決方案, 協(xié)助您優(yōu)化工藝過程, 提高生產(chǎn)效率! 上海伯東期待您的蒞臨！
【參展時間】: 2023年6月29-7月1日
【地點】: 上海新國際博覽中心
【伯東展位】: E3號館, 3369 位置

在現(xiàn)場, 我們?yōu)槟斀膺m用于半導(dǎo)體行業(yè)的各類產(chǎn)品！

德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
專為半導(dǎo)體, 鍍膜行業(yè)研發(fā)
完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
大抽速, 干式, 方便移動

 

德國 Pfeiffer 大抽速渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT
高抽速, 高氣體吞吐量
對工藝沉積的抵抗力強
提供耐腐蝕型號


美國 KRi 大口徑射頻離子源
3層?xùn)艠O設(shè)計, 柵極口徑 38cm
提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, 最大離子束流 > 1000mA
滿足 300 mm (12英寸)晶圓刻蝕
適用于離子刻蝕, 濺射沉積 



美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀 ATS-710E
溫度范圍 °C: -75至+225 50Hz
防靜電設(shè)計, 自動除霜
支持 Ethernet, IEEE-488, RS232

美國 Thermonics Process Chillers 超低溫冰水機
提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機
用于冷卻工藝過程中的氣體和液體
適用于半導(dǎo)體前端和后端各類工藝?yán)鋮s

美國 HVA 超高真空閘閥 11000 系列
口徑: DN 16 - 800 mm
極限壓力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar
 6寸, 8寸 真空插板閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!

美國 Gel-Pak 芯片包裝盒
適用于儲存和運輸半導(dǎo)體精密器件, 光電器件和其他精密器件等

若您需要進一步的了解更多信息, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機134