由于凡世通輪胎（Fire-tone）的質(zhì)量 問題，大量的爆胎和翻車事故造成了超過100人的死亡和400人的受傷，引起了汽車業(yè)界和美國政府的關(guān)注。該公司不得不于次年8月召回了650萬只輪胎。 據(jù)統(tǒng)計，美國每年有26萬例交通事故是由于輪胎氣壓低或滲漏造成的，占交通事故的75%。而中國高速公路上交通事故的70%是由于爆胎引起的。
輪胎質(zhì)量專家認為，“保持標準的車胎氣壓行駛和及時發(fā)現(xiàn)車胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵。”當(dāng)前盛行的低成本的手執(zhí)式數(shù)字胎壓計不能保證及時發(fā)現(xiàn)車胎漏氣，目前用 于200多萬輛通用和福特公司汽車上的間接測量技術(shù)——用防搶死剎車輪胎速度傳感器來測量比較每一個輪胎轉(zhuǎn)速，從而推斷出輪胎的壓力是否不足的方法實在是 既麻煩又不準確。
在每一個車胎中安裝上胎壓監(jiān)測傳感器和射頻發(fā)射器的智能輪胎正在引起極大的關(guān)注，智能輪胎與汽車儀表盤上一個接受器及顯 示器配合，即構(gòu)成一個輪胎壓力器測系統(tǒng)，即TPMS(Tire Pressure Monitoring System)，它也可以直稱為胎壓監(jiān)測傳感器（Tire Pressure Monitoring Sensor）.
美國國家公路安全 管理局上世紀七十所代中期的強制性聯(lián)邦法令，促成了燃油自動噴射系統(tǒng)的普及及第一次汽車傳感器應(yīng)用的高潮。2002年NHTSA的又一聯(lián)邦法案，規(guī)定美國 汽車從2003~2006年，每年分別以15%，35%，65%，100%的比例裝配TPMS系統(tǒng)，這將掀起新一輪汽車壓力傳感器應(yīng)用的高潮。
車胎獨特的工作環(huán)境條件，決定了胎壓實時監(jiān)測的壓力傳感器的高要求，要求寬溫區(qū)，寬電源電壓范圍內(nèi)較高的實用總精度要求，低功耗要求，無線信號 傳輸要求，耐惡劣環(huán)境要求和低成本要求。
美國SMI公司專業(yè)制造基于壓阻壓力的專用集成傳感器,為開發(fā)輪胎壓力傳感器，我們設(shè)計和研制出了一種適用的絕對壓力傳感器，它是一種基于 MEMS硅體微機械加工技術(shù)的微型壓阻絕對壓力傳感器，敏感元件為―集成惠斯頓全橋。力敏電阻按常規(guī)設(shè)計分布在正方形硅薄膜的四邊邊緣中心點，按 〈110〉晶向排列，一對呈縱向布局，一對呈切向布局，從而形成惠斯頓應(yīng)變?nèi)珮?。電阻條寬8um，全長60um,平均有效應(yīng)力可以保證100mV／V 的輸出靈敏度。電阻采用離子注入摻雜形成，有優(yōu)良的均勻性和摻雜準確度以保證零位和靈敏度的穩(wěn)定性，電阻設(shè)計的阻抗為5KΩ，采用硅硅鍵合技術(shù)形成絕對壓 力傳感器的真空參考腔。它比之用硅－pyrex玻璃陽極鍵合形成絕對壓力參考腔有更優(yōu)良的熱膨漲系統(tǒng)匹配，因而更有利于產(chǎn)品的熱穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性。采用 這一設(shè)計工藝技術(shù)的另一重大優(yōu)點是可以大大縮小單元芯片尺寸，本設(shè)計的單元芯片尺寸為0.65mm ×0.65mm，在一個六英寸硅圓片上可制作二萬四千余個力敏感元件單元，而采用硅―玻璃鍵合設(shè)計的單元芯片尺寸一般為1.5×1.5mm至 2.2×2.2mm，因而在一個四英吋的硅圓片上可制的壓力敏感元件單元分別為3400個和1600個，顯而易見，我們的設(shè)計有利于降低單元制作成本。當(dāng) 然，采用這一設(shè)計的前提是掌握好硅―硅鍵合技術(shù)及薄硅膜片制作技術(shù)。鑒于輪胎壓力傳感器的量程較大，硅膜片較厚，采用精密機械減薄或各向同性腐蝕技術(shù)都不 難達到設(shè)計的要求，即使將這一設(shè)計的量程下延至汽車用MAP和AAP絕對壓力傳感器的量程，采用Smart Cut 技術(shù)或外延片電化學(xué)選擇腐蝕技術(shù)亦不難獲得15~20um厚的硅薄膜。
非線性：0.05~0.1%FS；遲滯與重復(fù)性：0.03%FS； 輸出靈敏度：100mV／V；量程：1000Kpa；過載能力：300%；零點及靈敏度溫度系數(shù)：1~3×10-4 /℃·FS。
本芯片（SM5420C)亦可供輪胎壓力傳感器及手持式數(shù)字輪胎壓力及配套使用。
用MEMS硅體微機械加工技術(shù)制作成功輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)用的輪胎壓力傳感器芯片， 采用硅―硅鍵合設(shè)計與相關(guān)工藝技術(shù)縮小芯片尺寸，降低單元成本，為TPMS產(chǎn)品開發(fā)走出了第一步。
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